详细介绍
1、谱仪由波纹管、真空室、光栅及其调整系统、X光CCD和真空系统等组成。
2、光栅的几何尺寸为 50mm（长）×30mm（宽）×10mm（厚）。以其工作面的几何中心为光栅的顶点。
3、真空室内同时安装光栅1（12001/mm）和光栅2（24001/mm）。
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