真空测量校准标准装置
一、主要用途：用于中、低真空测量系统的现场校准。二、技术指标：1、系统极限真空度8×10-5Pa，，且在一分钟内压力稳定度偏差不超过±2%。2、系统漏率不大于10-8PaL/S。3、系统的真空压力调节范围：5×10-1Pa～1×105Pa，且连续可调。4、系统在任意一设定真空压力点达到平衡，时间不大于4分钟，且在一分钟内压力稳定度偏差不超过±2%。5、真空校准装置的总不确定度不大于15%。6、校准
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详细介绍
一、主要用途：用于中、低真空测量系统的现场校准。
二、技术指标：
1、系统极限真空度8×10-5Pa，，且在一分钟内压力稳定度偏差不超过±2%。
2、系统漏率不大于10-8PaL/S。
3、系统的真空压力调节范围：5×10-1Pa～1×105Pa，且连续可调。
4、系统在任意一设定真空压力点达到平衡，时间不大于4分钟，且在一分钟内压力稳定度偏差不超过±2%。
5、真空校准装置的总不确定度不大于15%。
6、校准室的形状为球体或高度与内径之比为1～3的圆柱体。
7、标准规管接口2个，被测规管接口3个。规管的安装位置在球赤道位置或圆柱体1/2高度的同一水平面上。
三、系统组成：主要由真空校准室系统、真空抽气系统、烘烤系统、可移动安装操作台系统、标准和被校规管安装系统、电控系统、辅助系统、备品备件、气源、被校真空计等组成。
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