真空抽气机组及推力器诊断测试平台
主要技术指标:1、极限真空度:优于1×10-4Pa;2、工作真空度:12sccm(氙气)条件下真空度<8.0×10-3Pa(以氮气标定表头显示为准);3、系统漏率:1.0×10-7Pa·L/S;4、抽气机组:采用扩散泵(φ800)抽气机组一套,配有国产气动挡板阀门、管道以及真空计等一套;5、真空室采用卧式圆筒形前开门结构,净尺寸;Φ1000mm×1500mm,氟橡胶圈密封,304不锈钢材料。真空室
关键词:
详细介绍
主要技术指标:
1、极限真空度:优于1×10-4Pa;
2、工作真空度:12sccm(氙气)条件下真空度 <8.0×10-3Pa(以氮气标定表头显示为准);
3、系统漏率:1.0×10-7Pa·L/S;
4、抽气机组:采用扩散泵(φ800)抽气机组一套,配有国产气动挡板阀门、管道以及真空计等一套;
5、真空室采用卧式圆筒形前开门结构,净尺寸;Φ1000mm×1500mm,氟橡胶圈密封, 304不锈钢材料。真空室右侧和前开门上各设一个透明测试窗口,通导分别为100mm×600mm(方形)和DN300mm.
6、气体控制:两路供气,气体质量流量计控制,流量范围:0~10sccm,0~20sccm,北京七星华创;质量流量控制器与真空腔体绝缘;
7、系统配置固定平台机构、移动平台机构和旋转平台机构各一套;
8、配置设备安装台架一套:型钢制成的骨架结构,表面喷塑处理;
9、配置电控系统一套,具备断水断电连锁保护功能。
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