PQ –Ⅰ 玻璃泡充铷真空系统
PQ–Ⅰ 玻璃泡充铷真空系统 一、主要用途:保密。二、技术指标:1.极限真空度:≤3×10-6Pa;真空漏率:≤1×10-7PaL/S;2.系统配备能够经受长时间(48小时以上)高温烘烤(玻璃段温度达450℃,采用烘箱烘烤;金属段200℃,采用烘烤带烘烤)的温控和加热系统;3.真空除气温度:室温~200℃;4.为了混气和充气方便和精确:混气罐(容积2L)和真空室(容积为5L),配置高精
关键词:
详细介绍
一、技术指标:
1. 极限真空度:≤3×10-6Pa;真空漏率:≤1×10-7PaL/S;
2. 系统配备能够经受长时间(48小时以上)高温烘烤(玻璃段温度达450℃,采用烘箱烘烤;金属段200℃,采用烘烤带烘烤)的温控和加热系统;
3. 真空除气温度:室温~200℃;
4. 为了混气和充气方便和精确:混气罐(容积2L)和真空室(容积为5L),配置高精度电容薄膜规,量程分别为1~1000Torr和0.1~100Torr,混气和充气均通过微调阀手动控制;
5. 烘箱采用矩形结构,内部有效尺寸:780mm(长)×450mm(宽)×600mm(高),内部采用电阻加热方式,加热总功率6Kw;
6. 所有加热部分采用PID程序控制;控温精度±1℃;
二、系统组成:
本系统主要由真空烘烤系统、真空抽气系统、真空及压力测量系统、充配气系统、超高真空容器及相关部件系统、冷水机系统、台架系统、电控及计算机控制系统组成。
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