高真空无油排气台
一、主要用途： 用于主要需要精密封装器件的排气。二、技术指标： 真空系统极限真空度：≤5×10-4Pa； 工作真空度：≤5×10-2Pa； 均温区：φ350×350(mm)； 烘箱内加热温度600℃，程序控， 控温精度±1.5℃。三、系统组成： 本系统主要由真空抽气系统、真空室、加热控温系统、台架系统、升降机构、电控系统、真空测量系统等组成。
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一、主要用途：
用于主要需要精密封装器件的排气。
二、技术指标：
真空系统极限真空度：≤5×10-4Pa；
工作真空度：≤5×10-2Pa；
均温区：φ350×350(mm)；
烘箱内加热温度600℃，程序控，
控温精度±1.5℃。
三、系统组成：
本系统主要由真空抽气系统、真空室、加热控温系统、台架系统、升降机构、电控系统、真空测量系统等组成。
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