石英管充气系统
1、极限真空度：优于5.0×10-4Pa；工作真空度：10sccm（氙气）条件下＜2.0×10-2Pa；系统漏率：1.0×10-7Pa.L/S；2、石英管管道：采用石英材料；3、航插固定法兰组件：DN100的法兰上，安装有两套航空插头；4、射频插座固定法兰组件：DN100的法兰上，安装两个射频插座；5、气路组件：5.1、两路供气，气体流量通过质量流量计控制，氮气标定；5.2、绝缘进气法兰固定在DN
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详细介绍
1、极限真空度：优于5.0×10-4Pa；工作真空度：10sccm（氙气）条件下＜2.0×10-2Pa；系统漏率：1.0×10-7Pa.L/S；
2、石英管管道：采用石英材料；
3、航插固定法兰组件：DN100的法兰上，安装有两套航空插头；
4、射频插座固定法兰组件：DN100的法兰上，安装两个射频插座；
5、气路组件：
5.1、两路供气，气体流量通过质量流量计控制，氮气标定；
5.2、绝缘进气法兰固定在DN80法兰上，共两路。
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