真空室系统设备
真空室共分4部分：真空抽气及测量系统、真空室组件、真空室上盖组件、辅助部分等，此外还包括盲板及标准件等附属零部件。
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真空室共分4部分：真空抽气及测量系统、真空室组件、真空室上盖组件、辅助部分等，此外还包括盲板及标准件等附属零部件。
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