电子束辐照装置
TA-DZS电子束辐照装置 一、主要用途：用途保密。二、技术指标：1.本系统极限真空：系统经烘烤，可达6.7×10-4Pa；从大气到恢复真空到5.0×10-3Pa≤40分钟。系统漏率：6.7×10-7PaL/s；2.玻璃真空室尺寸及结构：尺寸（约）外径Ф300（mm）×350（mm），材料采用厚度为6mm的石英玻璃，采用圆筒式结构，上端与上盖组件连接，下端部与不锈钢真空室连接；3.下真空室尺寸及
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TA-DZS电子束辐照装置
一、主要用途：用途保密。
二、技术指标：
1. 本系统极限真空：系统经烘烤，可达6.7×10-4Pa；从大气到恢复真空到5.0×10-3Pa≤40分钟。系统漏率：6.7×10-7PaL/s；
2. 玻璃真空室尺寸及结构：尺寸（约）外径Ф300（mm）×350（mm），材料采用厚度为6mm的石英玻璃，采用圆筒式结构，上端与上盖组件连接，下端部与不锈钢真空室连接；
3. 下真空室尺寸及结构：尺寸：内径Ø400（mm）×306（mm）；材料：不锈钢（1Cr18Ni9Ti）。结构：立式圆形不锈钢结构，真空室上盖与玻璃真空室连接，下端部连接真空抽气系统；
4. 样品台：在玻璃真空室及不锈钢真空室之间有一个可拆卸的样品台，该样品台与不锈钢真空室相固定，尺寸：Ø280（mm）×15(mm),样品台下部安装反光镜支架；
5. 挡板机构：快门挡板在下真空室底部安装，通过磁流体轴承及电磁铁控制实现样品遮挡，实现0.1S开关速度。挡板高度可调，最高距灯丝50mm，最低距样品台小于50mm。且挡板加1000V高压。
三、主要组成：
该装置主要由真空抽气及测量系统、玻璃真空室、不锈钢真空室、各种高频电源引线（安装BNC接头的刀口法兰）组件、玻璃真空室电动升降装置、电动挡板系统、台架系统、电控系统及水压报警系统等组成。
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