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玻璃泡充铷真空系统

一、主要用途:保密。二、技术指标:1、极限真空度:≤5×10-6Pa;真空漏率:≤5×10-7PaL/S;2、系统配备能够经受长时间(48小时以上)高温烘烤(玻璃段温度达450℃,采用烘箱烘烤;金属段200℃,采用烘烤带烘烤)的温控和加热系统;配备一个能够经受450℃烘烤的全金属角阀(开启10000次);3、金属真空腔体和它相连的管道采用316L不锈钢制造,配气系统所用阀门均采用进口Swagelo

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详细介绍

 

一、技术指标:

 极限真空度:≤5×10-6Pa;真空漏率:≤5×10-7PaL/S;

 

二、系统组成:

 本系统主要由真空抽气及测量系统、充配气系统、烘箱加热及控制系统、恒温水浴系统、混气室及主真空管路系统等组成。

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