详细介绍
技术指标和要求：
1） 系统真空：
1.1、系统极限真空度优于1×10-4Pa（空载）；
1.2、工作真空度优于5×10+Pa，抽气时间≤5小时；
1.3、漏率：系统总体漏率优于1×10-7Pa·L/s；
1.4、系统采用分子泵作为主抽泵，罗茨泵+螺杆干泵作为前级泵；
2） 焊接波纹管组件：
该系统前端安装焊接波纹管组件，通导DN500，焊接波纹管组件可调节距离及角度；
3） 800真空腔室系统：
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