详细介绍
抽气单元:采用干泵及分子泵组合抽气式，干泵抽速>10L/s，分
子泵抽速>600 L/s;
极限真空:系统极限真空度≤6.7x10-5Pa，从一个大气压(充入干燥氮气，不打开真空室)抽至6.7x10-4Pa 的时间≤2 h;
系统漏率:≤5x10-7Pa·L/s。
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