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CVD高温氯化物真空镀膜系统

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详细介绍

 

技术指标及要求:

1、真空室极限真空度:≤10-1Pa;

2、系统漏率:≤6×10-7Pa•L/s。

3、样品加热温度1100~1650℃,控温精度±1℃。

 

 

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