详细介绍
微小靶腔常温检漏装置主要用于整体靶常温条件下的检漏，以及其它小密封体（如有密封要求的腔，球管等）的检漏。包括样品室、真空抽气组件、气路系统、检漏仪和控制单元5个部分，可精密检测整体靶、腔或球管组件常温下对He的漏率，每次可同时检测5发靶或靶零件。
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