详细介绍
32工位程控排气台主要由真空获得及测量系统、真空抽气管道系统、烘箱加热系统、充气系统、电极系统、高压放电系统、电气控制系统、辅助系统等机构组成，主要用于光电倍增管在阴极制造过程中的控制和监测。
主要应用于光电倍增管阴极制作工序单碱、双碱、多碱类型的光电阴极激活和整管制备。该设备具备电脑及相应程序运行控制软件，可以实现自动和和手动控制真空系统、加热系统的运行、停止，并可实时显示、记录、保存设备运行过程中真空度、温度、腔体气压值等各种运行数据，并检查显示处理故障状态。
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