详细介绍
真空相关要求及指标
1)作用室内部空载极限真空度<1x10-5Pa。激光系统正常运行时真空腔内部真空度<5x10-5Pa。
2)作用室总漏率小于 1x10-11Pa.m3/s。
3)作用室可以充入干燥氮气等缓冲气体，以避免光学器件腐蚀，并增加其使用寿命。
4)作用室接口规格及数量:两个真空规接口(CF35)，一个气动放气阀接口(CF16)，一个手动放气阀门接口(CF16)，两个闸板阀接口(CF200和CF250)，一个旁抽角阀接口(CF35)。
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