详细介绍
励磁镀膜-手套箱综合制备系统主要是利用薄膜制备系统对粉状样品进行薄膜制备和压铸成型。
薄膜制备子系统
1、真空度及漏率
1.1、极限真空：≤8.0×10-6Pa；
1.2、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达6.0×10-4Pa；
1.3、总漏率：8.0×10-8Pa·L/s；
1.4、系统带有旁抽功能。
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