详细介绍
真空抽气及测量系统
1、作用靶室系统空载极限真空度2小时到达5.0×10-4Pa（甲方负责）。
2、作用靶室系统总漏率优于1.0×10-7Pa·L/s。
3、真空抽气：采用磁悬浮分子泵+干泵（进口普发，甲方自备）抽气机组（无油系统），配有手动闸板阀、旁抽阀门、波纹管管道、真空计、放气阀等组成真空抽气及测量系统。
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