详细介绍
1、真空获得及测量系统
1.1、系统极限真空度优于1.0×10-4Pa，系统漏率优于1×10-7Pa·L/s；
1.2、从大气抽到4.0×10-3Pa时，抽气时间低于30min（分子泵满转条件下）；
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