倍增级磁控溅射镀膜机

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磁控溅射镀膜系统

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倍增级磁控镀膜机是为了提升光电倍增管批量化生产制造而提出的一台新型非标定制设备。主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中设备实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试功能。工艺数值进行数字化编程、程序控制和动态监测，达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。该设备具备电脑及相应测试软件，可以实现自动控制和数据连续监测功能，烘烤温度、离子轰击时长、辅助电压强度、膜层沉积厚度可工艺编程，实时显示、记录、统计、计算、保存、输出、导出各种运行数据，并检查显示处理故障状态。

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