详细介绍
1、系统极限真空度优于 5.0X10-5Pa，系统漏率优于 1.0x10-7Pa·L/s。
2、设备充入干燥氮气至一个大气压,泵组开始抽真空,在90分钟内，抽到1.0x10 -3Pa.
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