详细介绍
技术指标：
1、系统极限真空度 ≤5×10-5Pa(冷态)
2、工作真空度 ≤5×10-4Pa(温度≥200℃)
3、系统漏率 5×10-11Pa.m3/s
4、最高加热温度 850℃
5、升温速率 0.5～10℃/min可调可控
6、降温速率 250℃以上0.5～5℃/min可调可控，250℃以下自然降温
7、均温区范围 ≥φ1000mm×200mm
8、温度均匀性 ≤±3℃（均温区范围内）
9、控温精度 ≤±1℃（均温区范围内）
10、真空室内径 ≥φ1300mm
11、真空室有效高度 ≥300mm
12、工件支撑盘尺寸 ≥Φ1000mm×10mm；（工件盘上方至真空室顶部的圆柱形区域内不能有任何障碍物。）
13、钟罩降下后工件盘距真空室顶部高度 ≥300mm
14、钟罩升起后工件盘上端距离钟罩下端高度 ≥300mm
15、钟罩提升至最高位置时总高度 ≤2450mm
16、台面高度 ≤1000mm
17、抽速 真空室暴露大气后，抽至5×10-4Pa所需时间≤1h
18、功耗 ≤45kW
产品询价
我们将在一个工作日内与您联系。请注意您的电子邮件。
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
市场部（售后）：13840375510/13804984297
邮箱：syta_cl@163.com cla.sy@163.com
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号