详细介绍
主要技术指标
1、真空抽气及测量系统
1.1、极限真空度≤5.0×10-5Pa（经烘烤除气后，24h后）。
1.2、系统漏率≤1.0×10-7Pa·L/s。
1.3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到4.0×10-4Pa。
2、真空腔室系统
2.1、真空腔室采用单室圆筒形上盖电动升降结构，方便物料的取放和实现样品台的拆装、清洗。
2.2、真空腔室尺寸约Ф450mm×高430mm，选用304不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电解抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封。
3、磁控靶及电源系统
3.1、磁控靶：3英寸磁控靶3个
3.2、电源：RF：500W，1台；DC：1000W，2台。
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