特材表面预处理真空系统
主要技术指标：1.系统极限真空优于6.7×10-5Pa；2.系统总漏率小于5×10-7Pa.L/s；3.样品台： 样品尺寸为φ100mm球壳(外径)，壁厚5～6mm； 样品可升降调节±30mm； 样品可摆动，摆动角度±37度； 样品可连续旋转，转速为0～50转/分可调，角度与位置关系可控；4.真空气路系统共两路：一路采用手动阀门进行控制； 一路由质量流量计精确控制；5.设备具有防误操作联锁保护功能
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主要技术指标：
1.系统极限真空优于6.7×10-5Pa；
2.系统总漏率小于5×10-7Pa.L/s；
3.样品台：
样品尺寸为φ100mm球壳(外径)，壁厚5～6mm；
样品可升降调节±30mm；
样品可摆动，摆动角度±37度；
样品可连续旋转，转速为0～50转/分可调，角度与位置关系可控；
4.真空气路系统共两路：一路采用手动阀门进行控制；
一路由质量流量计精确控制；
5.设备具有防误操作联锁保护功能。
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