真空充碱金属系统

一、用途用于制作具有抗弛豫膜层的碱金属原子池，这是可实用化量子网络、量子计算、量子精密测量的基本原器件。二、技术指标 1、真空抽气及测量系统： 1.1、极限真空度：5.0×10-6 Pa。 1.2、系统漏率≤1.0×10-8 Pa·L/s。 1.3、真空抽气机组：采用分子泵+无油干泵组成真空机组，配有阀门、管道、真空计等组成真空抽气系统与测量系统。 2、玻璃池系统：玻璃池上有2个接口，1个与真空充碱金属系统相连，另1个由甲方提前熔融密封。 3、真空室系统： 4、烘箱系统： 5、气路：系统共有4路进气，1路进有机源、1路进铯源、1路进氖气、1路进氮气；有机源与铯源需要加热，最高加热温度405℃，不需要载气（甲方的工艺要求）；氖气和氮气分别通过质量流量器控制进入玻璃池，范围0～200sccm，在进气管道上安装薄膜压力规。 6、系统具有漏电、漏气保护功能，具有断水报警，切断相应电源功能。 7、系统带有计算机控制系统。

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碱金属充装设备

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