热蒸发镀膜系统

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薄膜制备设备（PVD）

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详细介绍

技术指标：
1、真空抽气及测量系统：
1.1、系统极限真空度优于5.0×10^-5Pa，系统漏率优于1.0×10^-7Pa·L/s；
1.2、抽气机组：采用分子泵、机械主抽泵、机械维持泵、电动闸板阀、旁抽阀门、管道、真空计等组成抽气系统；
2、真空腔体系统：
2.1、圆筒型真空室，材质为优质304不锈钢；
2.2、前开门铰链结构，方便取放样品；
2.3、腔体进行表面处理和应力处理，保证5年内真空室主体和开门无变形，无泄露；
3、样品架系统：
3.1、样品长方体样品，每次安装一件样品；

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