球形旋转等离子体源系统
1、漏率优于 5.0×10-7 Pa·L/s。 2、真空腔体采用石英玻璃制成，通过减震波纹管与抽气管道连接，氟橡胶圈密封。石英玻璃正前方与陶瓷件粘结，安装检测探针，探针甲方自备。 3、系统配有铝型材台架，台架上方各个支撑板采用尼龙或者有机玻璃材料制成。
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