压缩池系统
一、设备主要技术指标：1、真空箱体极限真空度：空载真空需小于5×10-7Pa；工作真空度：5×10-6Pa；系统漏率为：≤1×10-11Pam3/s；2、真空箱体内尺寸为1200mm（宽）×1600mm（长）×650mm（高），全不锈钢（316L）双升降上盖开门结构；全部采用氩弧焊接，内焊缝，外部连续加强焊接，外表面焊接加强筋，外表面喷砂钝化处理；氦质谱检漏仪检漏，除上盖采用进口氟橡胶圈密封外，其
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设备主要技术指标：真空箱体极限真空度：空载真空需小于5×10-7 Pa；工作真空度：5×10-6 Pa；系统漏率为：≤1×10-11Pa m3/s；
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