详细介绍
一、技术指标
1、激光溅射沉积室，极限真空度优于：6.6×10-5Pa；工作真空度：一小时内从大气抽到8×10-4Pa；系统漏率为：1×10-7PaL/s。
2、样品架可加热，样品安装快捷方便，加热温度，样品多片很小，采用粘接方式固定。
3、激光靶材共四块，采用压环式结构，四块靶材可公转换位同时靶材可自转，自转速度为：0～60转/分，连续旋转。
4、真空抽气系统主要由主泵采用复合分子泵、机械泵真空管道、阀门、真空计等组成。
5、激光溅射沉积室尺寸：SФ450球型结构，真空室外表面带有水冷槽，真空室上开有连接四工位靶台、样品活开门、样品架、激光窗口、真空闸板阀、气路阀等法兰接口。
二、设备组成
该设备由加热炉、真空内部转动组件、样品台平移机构、安装法兰等组成。
产品询价
我们将在一个工作日内与您联系。请注意您的电子邮件。
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
市场部（售后）：13840375510/13804984297
邮箱：syta_cl@163.com cla.sy@163.com
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号