详细介绍
1、极限真空度：优于5×10-4Pa；工作真空度：优于5×10-3Pa，微波等离子体工作真空度为：几百帕；
系统漏率：1×10-7PaL/S；
2、系统所配离子源、微波源、电弧源等；
3、真空室共分为四段；
4、中间段真空室共有两套：一套为不锈钢材料（304），一套为尼龙制成；
5、最外端两端真空室可与整体拆卸独立使用，可单独使用，可两段一起使用；
6、系统配有相应的盲板密封；
7、系统内部带有手动三维移动实验套。
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