详细介绍
主要技术指标：
1、预处理室系统
预处理室极限真空≤4.0×10-6 Pa，漏率低于1×10-8 Pa·L/s，保气72 h真空度小于5×10-2 Pa。
2、溅射室系统
2.溅射室极限真空度≤4.8×10-8 Pa，漏率低于1×10-8 Pa·L/s，保气72 h真空度小于3×10-3 Pa。
3、靶枪系统
4、样品架系统
5、辅助沉积系统
6、样品传递与交接系统
7、防污系统
8、水电气和集成系统
9、辅助系统
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