实验平台靶室系统
一、系统技术指标及设计要求：1、整体结构：三个真空室串联结构，通过软连接（波纹管）和阀门连接；每个真空室都是立式圆柱形结构，不锈钢材料（304）；每个真空室都带有光学面板，真空室和光学面板分别独立支撑，光学面板与真空室间连接密封采用焊接波纹管组件，达到减震效果；真空室安装于主台架上，主台架跨过光学平台支撑于地面上；光学面板支撑于光学平台上；真空室1和真空室2的上方盖板采用厚有机玻璃；真空室3的上方
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一、系统技术指标及设计要求：
1、整体结构：三个真空室串联结构，通过软连接（波纹管）和阀门连接；每个真空室都是立式圆柱形结构，不锈钢材料（304）；
每个真空室都带有光学面板，真空室和光学面板分别独立支撑，光学面板与真空室间连接密封采用焊接波纹管组件，达到减震效果；
真空室安装于主台架上，主台架跨过光学平台支撑于地面上；光学面板支撑于光学平台上；
真空室1和真空室2的上方盖板采用厚有机玻璃；真空室3的上方盖板为不锈钢板。
2、真空度及漏率要求：
真空室1：无气体负载时<10-6mbar，有气体负载时<10-3mbar；
真空室2：<10-6mbar；
真空室3：进入10-7mbar；
系统漏率：<5×10-7Pa.L/s（氦质谱检漏仪）。
3、真空室尺寸：真空室1和2的内径为φ50cm，光学面板φ48cm；
真空室3的内径为φ21cm，光学面板为φ20cm；
4、真空腔间法兰连接方式：采用圆形大法兰转接通光孔小法兰连接，方便设备后期实验改造；
5、密封形式：氟橡胶圈、无氧铜圈；
6、真空室及管道的焊接：全部采用氩弧焊接，内焊缝连续焊接，外焊缝断续加强焊接；
7、真空室及管道表面处理：外表面喷砂钝化处理，内表面抛光处理；
8、真空室及管道清洗：按照超高真空清洗标准进行清洗；
9、安装调试：在洁净环境下，带绒布手套，穿洁净的工作服，不得接触任何油污等超高真空安装调试标准进行安装调试；
10、设计真空室1与真空室2之间用于差分抽气的隔断部件（差分抽气小孔组件）；即真空室1与真空室2之间的气体流动通过此小孔，并可更换；此小孔距离气体喷嘴约为10cm，直径为1mm；
11、分子泵与真空室连接部分有减震机构以及各支撑台架均带有减震部件。
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