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阴极转移系统

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1 、极限真空度:6.67×106Pa(制备室)

2 、阴极室及压封室可分别内烘烤及控温,温度均匀。烘烤温度300℃以内,可设定并控制温度。两套。管壳室外管式炉一个,温度400℃。

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