真空靶室设备
真空靶室设备1、系统设计要求及技术指标：1.1系统设计总要求： 在满负荷(包括真空)条件下，各个真空腔体最大变形不大于0.5mm； 在周围环境振动输入为1×10-10g2/Hz(1～200Hz)的条件下：各法兰外端面和各个真空腔体内光学平 台最大位移不大于1.0μ/2h，最大旋转不大于2.0μrad/2h； 各个真空腔体所有指向靶心法兰中心轴线偏离实际中心小于1mm，顶盖所有指向靶心法兰中心
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真空靶室设备
1、系统设计要求及技术指标：
1.1系统设计总要求：
在满负荷(包括真空)条件下，各个真空腔体最大变形不大于0.5mm；
在周围环境振动输入为1×10-10g2/Hz(1～200Hz)的条件下：各法兰外端面和各个真空腔体内光学平台最大位移不大于1.0μ/2h，最大旋转不大于2.0μrad/2h；
各个真空腔体所有指向靶心法兰中心轴线偏离实际中心小于1mm，顶盖所有指向靶心法兰中心轴线偏离实际中心小于2mm；
指向靶心法兰到靶室中心的距离在工程设计后确定，但是公差应小于2mm；
各个真空腔体圆柱腔圆度误差小于2mm，方形腔段误差小于2mm，靶室中心高度误差小于3mm；
系统真空度：1×10-4Pa(空载条件下)，漏(放)气率：不大于1×10-9Pa·m3/s；
靶室洁净度：100级，无油污染；
靶室腔体内部需要特殊考虑，尽量减小内壁对气体的吸附，以减小抽真空时的放气率；
各个真空腔体内光学平台应保证平整度，平整度小于100μm。安装完成后水平度小于1mrad。靶室所有接口都以靶室中心为基准进行设计。
1.2 系统设计其他要求：
1)考虑到各个靶室间定位的精确度及连接应力，连接用的真空管道需带有一截波纹管段，以缓冲和减震。
2)从使用方式及功能上考虑，真空管道段需要考虑安装闸板阀，使各个真空腔体可以独立工作。
3)对于连接管道都有独立的支撑，防止法兰接口受力。管道支撑采用碳钢支撑，可升降，稳定性高，强度高。
4)真空腔上法兰端面开螺纹通孔。法兰的真空密封使用氟橡胶圈，在靶室法兰端面设计矩形密封槽安装，密封圈压缩量为30％。
5)法兰的长度需要在工程设计中明确，但需遵循两个基本原则：法兰不宜过长；同样尺寸的法兰到靶室中心的距离应尽量相等。
6)负载需考虑力矩，重心定位法兰端面向外延伸400mm。
7)长焦靶室和短焦靶室上盖采用电动升降结构。
8)五段连接管道靠近真空腔体附近，均安装通导为Φ80mm的电动闸板阀，用于隔断，共五套电动闸板阀。阀门双面法兰均采用胶圈密封，阀板密封均采用双面密封，阀门电动控制，可远控近控。
2、系统组成：
主要以主要由真空靶室组件、真空传输管道、阀门、支撑架、电控等部分组成。
真空靶室组件分为四个独立的压缩器、伺服镜腔、长焦靶室和短焦靶室。
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