非标件加工及光束线集成
技术指标：1、系统真空度：1.1、极限真空度：小于5×10-9Torr。1.2、系统漏率：不大于1×10-8Pa.l/s。
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技术指标：
1、系统真空度：
1.1、极限真空度：小于5×10-9Torr。
1.2、系统漏率：不大于1×10-8Pa.l/s。
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