导电铝膜层蒸发装置
技术指标：1、真空获得系统：采用无油真空系统，分子泵+干泵抽气系统；1.1、系统极限真空度优于2×10-5Pa；1.2、工作真空度优于8×10-4Pa，设备达到工作状态后真空度始终高于8×10-4Pa（蒸镀铝膜时除外），真空测量需要预留甲方标准规接口，真空规安装位置需尽量靠近玻壳口部；1.3、设备真空系统开启分子泵满转后20分钟内真空度优于1×10-3Pa；1.4、系统漏率≤6.7×10-7PaL
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详细介绍
技术指标：
1、真空获得系统：采用无油真空系统，分子泵+干泵抽气系统；
1.1、系统极限真空度优于2×10-5Pa；
1.2、工作真空度优于8×10-4Pa，设备达到工作状态后真空度始终高于
8×10-4Pa（蒸镀铝膜时除外），真空测量需要预留甲方标准规接口，真空规安装位置需尽量靠近玻壳口部；
1.3、设备真空系统开启分子泵满转后20分钟内真空度优于1×10-3Pa；
1.4、系统漏率≤6.7×10-7PaL/s；
1.5、进气系统包括一个普通放气阀，用于充入空气或者氮气放气；一个微进气阀（流量计），保证可以通入微量气体。
2、真空测量系统：放置在抽气管道上，用于检测真空度；
2.1、数字显示，实时监测；
2.2、真空计测量范围为大气～10-6Pa。
3、烘烤及温控系统：
3.1、钟罩烘箱烘烤温度500℃，均匀性要求±10℃；
3.2、烘烤系统升温速率，60分钟内升至500 ℃；
3.3、加热烘箱外部温度不能超过60℃；
3.4、温度控制系统采用可程控、可手控的方式，控制精度为±2℃，可实现72小时以上连续烘烤。
4、蒸发系统：
4.1、蒸发电极尺寸满足玻壳需要，需要多层次镀铝位置保证镀膜均匀性；
4.2、蒸发电极可保证蒸镀绝大多数金属材料；
4.3、挡伞设计完善，保证镀铝边缘齐整；
4.4、蒸发电极位置可以调整。
5、机架：机架要求稳定可靠，符合人体工程学设计，方便产品的安装和卸载。
6、预留部分：
6.1、真空系统预留一个Φ35；
6.2、预留一个高频放电系统扩展空间，电源尺寸500mm×400mm×200mm（由于高频电源运行时会产生高频信号，为防止影响设备其他控制电源，高频电源不可安装在电控柜内，所以电控柜内不预留高频电源安装位置）,高频线圈尺寸为Φ510（在烘箱升起后使用）。
7、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
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