单靶磁控溅射镀膜机
主要技术指标：1. 靶基间距60mm～105mm可调，波纹管伸缩部件安装标尺便于定位；2. 电子束蒸发，竖直向上。电子枪采用Mantis产品，法兰盘距喷口200mm，靶基间距80～160mm；3. 衬底组件安装法兰口为CF100，衬底架能够放置样品托，能够伸缩±20mm，便于交接样品；4. 衬底旋转（0-60转/分）；衬底带有手动挡板，能够挡住3英寸样品；5. 最高加热温度800℃，控温精度±2℃
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主要技术指标：
1. 靶基间距60mm～105mm可调，波纹管伸缩部件安装标尺便于定位；
2. 电子束蒸发，竖直向上。
3. 衬底组件安装法兰口为CF100，衬底架能够放置样品托，能够伸缩±20mm，便于交接样品；
4. 衬底旋转（0-60转/分）；衬底带有手动挡板，能够挡住3英寸样品；
5. 最高加热温度800℃，控温精度±2℃；
6. 设备具有断水断电连锁保护报警装置。
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