详细介绍
1、靶室可达到的真空度范围：8.0×10 Pa-10tor；
2、电动载物台控制元件的XY轴行程范围：410×410mm；
3、电动载物台定位精度：≤30um；电动载物台复位精度：≤10um；
4、电动载物台最大运行速度：10mm/s；
5、电动载物台可承受的光学元件最大重量：25Kg；
6、光学元件夹具：可方便、精确的夹持口径范围430×430×40mm-40；
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