真空靶室
该设备主要由真空抽气系统、真空靶室系统、真空室底座系统、可开门拍摄法兰系统、观察窗及入射法兰系统、真空测量系统、烘烤照明系统、电控系统等组成。
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详细介绍
1、极限真空度：6.7×10-4Pa；
2、系统漏率≤1×10-7PaL/S；
3 、真空室内面包板上面离地0.84米；
4 、激光入射法兰中心线与地面高度为1.25米；
5 、真空室直径1.2米，总高1.4米；
6、拍摄窗口法兰外尺寸400×500mm，法兰底边距罐底200mm。
7、整体罐体高度可调，±10毫米。
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