BS-400 高真空实验靶室
BS-400 高真空实验靶室一、技术指标： 1.真空度：6.7×10-5Pa；系统漏率：6.7×10-7PaL/s； 2.靶室尺寸：内径Φ600×500mm，立式圆筒形结构，不锈钢材料，上盖采用手动升降方式开启； 3.光学平台系统：尺寸：Φ400，厚10mm，结构：有四个减震支撑系统将其支撑在真空室底部距观察窗中心约100mm，此距离可调节，调节最大范围10~20mm； 4.采用分子泵作为主抽泵
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BS-400 高真空实验靶室
一、技术指标：
1. 真空度：6.7×10-5Pa； 系统漏率：6.7×10-7PaL/s；
2. 靶室尺寸：内径Φ600×500mm，立式圆筒形结构，不锈钢材料，上盖采用手动升降方式开启；
3. 光学平台系统：尺寸：Φ400，厚10mm，结构：有四个减震支撑系统将其支撑在真空室底部距观察窗中心约100mm，此距离可调节，调节最大范围10~20mm；
4. 采用分子泵作为主抽泵抽真空；
5. 内部设置面包板，面色上可以随意安装光学透镜，反射镜等；
6.设备带有断水断电连锁保护装置。
二、系统组成：
真空靶室主要由真空靶室系统、真空抽气与测量系统、面色板（光学平台）系统、充气系统、电控系统、台架系统等组成。
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