详细介绍
1、反应室：200×250（mm）为圆筒式双层水冷不锈钢结构。正前面安装一个150铰链观察窗（窗直径50毫米）和挡板，同时，该窗口带有铰链结构，以便进行样品的更换；
2、在真空室的正上方，安装Rf电容耦合系统；
3、在真空室的正上方，通入一路混合反应气体，和液化后气体，气体引入口2个；
4、在真空室的正下方，安装可升降式加热样品台，基片台接口1个；
5、CF 35 电极引入口1个，分子泵抽气口1个.各法兰密封口均采用氟橡胶圈和无氧铜圈密封。
产品询价
我们将在一个工作日内与您联系。请注意您的电子邮件。
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
市场部（售后）：13840375510/13804984297
邮箱：syta_cl@163.com cla.sy@163.com
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号