BS-200 特制真空腔系统
BS-200 特制真空腔系统一、主要用途：保密。二、技术指标：1.系统极限真空度：5×10-5Pa，导光管真空度：1×10-3Pa，统漏率：5×10-7Pa.L/S。同时，该真空室系统的最高可承受0.2MPa的正压力；2.真空室容积：0.12M3；3.导光系统管道结构设计需同时满足两种不同光路：光路入射透镜中心距地面距离为1200mm，距小平台高度为170-240mm；4.有两种规格的样品架：一
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详细介绍
BS-200 特制真空腔系统
一、主要用途：保密。
二、技术指标：
1.系统极限真空度：5×10-5Pa，导光管真空度：1×10-3Pa，统漏率：5×10-7Pa.L/S。同时，该真空室系统的最高可承受0.2MPa的正压力；
2.真空室容积：0.12M3 ；
3. 导光系统管道结构设计需同时满足两种不同光路：光路入射透镜中心距地面距离为1200mm，距小平台高度为170-240mm；
4. 有两种规格的样品架：一种放置圆形样品，一种放置放方形样品，每次可以放置4个50×50×（1～10）mm样品或者4个φ50×（1～10）mm样品,样品架采用在样品背部弹性顶压结构，上表面始终靠在一个固定的平面上,不受样品厚度的变化而影响样品表面置入光口的距离；
5. 平动位移（X、Z）：样品托悬挂在平移台的侧面，保证光路通过样品后直接打在真空室壁上，同时也不得打在样品架上。共两套组件，实现X、Z的两维平移运动，两维平台行程均为±60毫米；
6.光路质量分析仪：安装在等效光路室的出口处，放置在真空室外侧，通过波纹管调节机构进行调节，位移调节为±20mm，角度调节为±5度，等效光路上出光孔玻璃到分光片的距离为1082mm，出光玻璃片至光路质量分析仪检测面的距离为218mm。
三、系统组成：
本装置主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、三维平台系统、样品架系统、CCD波纹管调整系统、分光片调节组件、楔形片调节组件、光路质量分析仪及调整组件、光路调节组件、分光片后表面反射光吸收池组件、光路经过样品反射后光路组件、电控系统、辅助支架系统等组成。
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