三工位阴极转移系统

主要技术指标：工作真空度设备底板处测量：工作真空度优于5×10-5Pa；钟罩顶部测量：工作真空度优于8×10-5 Pa；极限真空度设备底板处测量：极限真空度优于5×10-6Pa；钟罩顶部测量：极限真空度优于8×10-6Pa；烘烤温度范围室温-400℃；升温速率180min内由常温升至400℃；温度均匀性±2.5℃；MCP腔室挡板MCP腔室挡板关闭时，与地板间距≤1mm；MCP局部加热温度范围室温-

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阴极制备设备

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主要技术指标：

工作真空度	设备底板处测量：工作真空度优于5×10^-5Pa；钟罩顶部测量：工作真空度优于8×10^-5Pa；
极限真空度	设备底板处测量：极限真空度优于5×10^-6Pa；钟罩顶部测量：极限真空度优于8×10^-6Pa；
烘烤温度范围	室温-400℃；
升温速率	180 min内由常温升至400℃；
温度均匀性	±2.5℃；
MCP腔室挡板	MCP腔室挡板关闭时，与地板间距≤1mm；
MCP局部加热温度范围	室温-200℃；
MCP局部加热温度升温速率	升温速度大于15℃/min；
钟罩表面温度	不超过50℃。