变像管非转移阴极制作系统

主要技术指标要求：主体工作台架尺寸约1750（长）×1150（宽）×840mm（高）（最终以实际设计图纸为准）烘箱尺寸约900（长）×900（宽）×700mm（高）（内部）；1100（长）×1100（宽）×800mm（高）（外部）（最终以实际设计图纸为准）极限真空5×10-8Pa检漏漏率1×10-9Pa.L/S最高温度500℃温度精度±2℃温度程控8段以上，可编程烘箱升降系统双轴烘箱升降高度0～6

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阴极制备设备

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主要技术指标要求：

主体工作台架尺寸	约1750（长）×1150（宽）×840mm（高）（最终以实际设计图纸为准）
烘箱尺寸	约900（长）×900（宽）×700mm（高）（内部）；1100（长）×1100（宽）×800mm（高）（外部）（最终以实际设计图纸为准）
极限真空	5×10-8Pa
检漏漏率	1×10-9Pa.L/S
最高温度	500℃
温度精度	±2℃
温度程控	8段以上，可编程
烘箱升降系统	双轴
烘箱升降高度	0～600mm（双轴）
系统工作最大高度	<2.5m(烘箱升至最高时设备总高)
光源窗口尺寸	石英窗，约Ф60mm