详细介绍
1、主体工作台架尺寸：约1000（长）×820（宽）×870mm（高）（最终以实际设计图纸为准）
2、真空室结构：圆筒型卧式不锈钢管式结构
3、主真空管道尺寸：直径DN60mm，离子泵等超高真空部分、分子泵入口管道建议尺寸DN60mm，法兰采用CF63，角阀采用标准CF63全金属角阀。
4、烘箱尺寸：约600（长）x350（宽）x400mm（高）（内部有效尺寸）：700（长）x450（宽）x500mm（高）；（外部尺寸）（最终以实际设计图纸为准）
5、极限真空：5x10-8Pa
6、检漏漏率：＜1 x10-9Pa.L/S
7、最高温度：500℃
8：温度精度：±2℃
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