MEVVA沉积注入复合机系统
一、主要用途 主要用于金属材料表面改性及特种功能薄膜的制备二、技术指标 1.极限真空度：1×10-5Pa； 2.系统结构：Φ600球形前开门； 3.转靶靶台与靶室绝缘，耐压值大于3000V； 4.靶室为非磁性材料； 5.靶室整体对地绝缘，绝缘电阻大于10MΩ。三、系统组成： 本系统主要由真空抽气系统、真空室系统、MEVVA源系统、工件架系统及控制系统等组成。
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一、主要用途
主要用于金属材料表面改性及特种功能薄膜的制备
二、技术指标
1.极限真空度：1×10-5Pa；
2.系统结构：Φ600球形前开门；
3.转靶靶台与靶室绝缘，耐压值大于3000V；
4.靶室为非磁性材料；
5.靶室整体对地绝缘，绝缘电阻大于10MΩ。
三、系统组成：
本系统主要由真空抽气系统、真空室系统、MEVVA源系统、工件架系统及控制系统等组成。
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