真空高温烘烤除气系统设备研制
主要技术指标：1.系统空载极限真空度≤5×10-5Pa,（冷态）；2.工作真空度≤5×10-4Pa（700℃）；3.主泵采用莱宝磁悬浮分子泵作为主抽气系统，前级泵采用莱宝涡旋泵，实现无油抽气系统；系统带有旁抽系统，手动阀门。4.最高加热温度：700℃；温度均匀性±5℃（200℃～700℃），控温精度：±1℃；5.炉膛有效空间（有效均温区）≥Ø250×420mm；6.鼠笼式钼片加热器，五层屏蔽结构，
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主要技术指标：
1. 系统空载极限真空度≤5×10-5Pa,（冷态）；
2. 工作真空度≤5×10-4Pa（700℃）；
3. 主泵采用磁悬浮分子泵作为主抽气系统，前级泵采用涡旋泵，实现无油抽气系统；系统带有旁抽系统，手动阀门。
4. 最高加热温度：700℃；温度均匀性±5℃（200℃～700℃），控温精度：±1℃；
5. 炉膛有效空间（有效均温区）≥Ø250×420mm；
6. 鼠笼式钼片加热器，五层屏蔽结构，钼工件托盘；
7. 加热方式采用三区加热、独立测温控温方式，PID智能温控仪多段程序控温；采用低电压大电流加热电源。
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