真空退火炉
一、技术指标：1、设备结构形式：卧式、前开门（铰链结构）、不锈钢材料，双层水冷真空炉体、前门带有观察窗；2、系统空载极限真空度：≤8×10-6Pa； 工作真空度：正常工作2小时，保温300℃-400℃后，开始加热至800℃，工作真空度：≤1×10-4Pa（800℃）；真空泄漏率不大于1×10-7Pa/L"S。3、分子泵启动正常工作30分钟后，真空度进入1×10-3Pa；4、真空热处理炉压升率，应
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一、技术指标：
1、设备结构形式：卧式、前开门（铰链结构）、不锈钢材料，双层水冷真空炉体、前门带有观察窗；
2、系统空载极限真空度：≤8×10-6Pa；
工作真空度：正常工作2小时，保温300℃-400℃后，开始加热至800℃，工作真空度：≤1×10-4Pa（800℃）；真空泄漏率不大于1×10-7Pa/L"S。
3、分子泵启动正常工作30分钟后，真空度进入1×10-3Pa；
4、真空热处理炉压升率，应小于0.67PPa/h,使用中的真空热处理炉压升率不应高于1.33Pa/h。
5、最高加热温度：1300℃，工作炉温：600℃-1250℃；温度均匀性：±4℃；有效区测温精度：±1℃；最大升温速度：25℃/min，可控降温速率：30℃/h；采用导电智能控温表。
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