条纹变像管电极退火炉
条纹变像管电极退火炉技术协议一、用途：1、用于真空电子器件的真空除气处理及焊接；2、在高真空中进行特殊封接工艺等处理。二、技术规格及要求： 1、工位及结构：单工位、立式不锈钢双层水冷结构，下盖电动升降装样；2、控制方式：自动/手动；3、抽速：分子泵正常工作后40分钟内，炉内的真空度要求达到10－3～10－4pa；4、系统漏率：1×10-7PaL/s（氦质谱检漏仪）；5、真空泵组由进口干泵系统
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条纹变像管电极退火炉技术协议
一、用途：
1、用于真空电子器件的真空除气处理及焊接；
2、在高真空中进行特殊封接工艺等处理。
二、技术规格及要求：
1、工位及结构：单工位、立式不锈钢双层水冷结构，下盖电动升降装样；
2、控制方式：自动/手动；
3、抽速：分子泵正常工作后40分钟内，炉内的真空度要求达到10－3～10－4pa；
4、系统漏率：1×10-7PaL/s（氦质谱检漏仪）；
5、真空泵组由进口干泵系统和分子泵系统组成，泵组噪音不能高于40分贝；
6、最高加热温度：1300℃,常用温度500℃～1200℃；温度均匀性±3℃，控温精度：±1℃；
7、炉内容积：φ400×500mm；
8、加热方式采用三区加热、独立测温控温方式，PID智能温控仪程序控温；采用低电压大电流加热电源，电压低于45V；
9、设备配有至少2路充气阀，通过充气阀将氮气通入真空室，使真空室快速降温；
10、设备结构形式：真空室以及加热体固定不动，下底盘以及载物台升降；
11、设备结构紧凑、布局合理、外形美观、便于操作维护；
12、系统应采用触摸屏（12寸）+PLC控制方式，自带软件，可以设定并实时显示过程中的温度、真空度等参数。工艺参数结果可以输出到Windows Office软件中。
13、在抽气过程中，如系统突然暴露大气，应能处于保护状态， 避免部件的损坏。停电停水、以及系统不能维持真空状态，设备带有保护装置， 整个系统连锁保护。
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