TH- 1400 真空退火炉
一、用途：该设备用于器件真空除气、退火及钎焊。二、技术指标：1.系统空载极限真空度≤2×10-4Pa,（冷态）；工作真空度≤1×10-3Pa（1400℃，持续时间10小时以上）2.分子泵启动正常工作30分钟后，真空度进入10-2Pa；3.加热系统：最高加热温度：1500℃，工作使用温度：900℃～1400℃；温度均匀性±5℃，控温精度：±2℃；4.炉膛有效空间≥Ø300×600m；有效均温区≥Ø2
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详细介绍
一、用途：该设备用于器件真空除气、退火及钎焊。
二、技术指标：
1. 系统空载极限真空度≤2×10-4Pa,（冷态）；工作真空度≤1×10-3Pa（1400℃，持续时间10小时以上）
2. 分子泵启动正常工作30分钟后，真空度进入10-2Pa；
3. 加热系统：最高加热温度：1500℃，工作使用温度：900℃～1400℃；温度均匀性±5℃，控温精度：±2℃；
4. 炉膛有效空间≥Ø300×600m；有效均温区≥Ø200×400mm；
5. 鼠笼式钼片加热器,五层屏蔽结构,钼工件托盘；
6. 料盘支架（载物台）：在炉膛内，安装放置被处理样品的支撑托盘，采用钼工件料托架，尺寸为：120×L500（mm），厚度为10毫米，通过钼支撑杆固定在真空室内壁上；
7. 退火炉保温屏蔽组件：加热体外部为金属隔热套（屏蔽层），金属隔热套外部为多层金属隔热屏，共五层：靠近加热体屏蔽层采用金属钼（共2层），高温钼两层，一层普通钼，最外3层采用不锈钢屏蔽层；在真空室两端（含前开门）各有一套多层金属隔热屏（也是五层，与圆周设置一样）；
8. 额定加热总功率：最大60Kw；
9. 系统采用触摸屏+PLC控制方式，具备控制软件，可以设定并实时显示工艺过程中的温度、真空度等参数。
三、系统组成：
本设备主要由真空室系统、真空抽气及测量系统、加热及控温系统、电器控制系统、充气系统、辅助系统等几部分组成。
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