弯铁白光狭缝
1.系统总漏率：小于1×10-8Pal/s；2.狭缝开口尺寸：水平方向：0-70mm；垂直方向：0-10mm；3.刀口运动行程：水平方向：-5-37mm；垂直方向：-5-7mm；4.上下刀口平行度：100um；最大吸收热功率：200w。
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1. 系统总漏率：小于1×10-8Pal/s；
2. 狭缝开口尺寸：水平方向：0-70mm；
垂直方向：0-10mm；
3. 刀口运动行程：水平方向：-5-37mm；
垂直方向：-5-7mm；
4. 上下刀口平行度：100um；
最大吸收热功率：200w。
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